一、超純水機(jī)設(shè)計基礎(chǔ)

1.1本方案涉及的流程及設(shè)備是為了滿足：貴公司生產(chǎn)工藝用水項目，要求如下：

1.1.1產(chǎn)水用途：半導(dǎo)體用純化用水

1.1.2系統(tǒng)總進(jìn)水量：預(yù)處理：16m³/hr

1.1.3系統(tǒng)出力： 一級RO純水處理：8m³/hr；回收率：50%；

二級RO純水處理：6m³/hr；回收率：60%；

40%的濃水回流至一級RO純水系統(tǒng)

EDI超純水處理：5m³/hr；回收率：90%；

1.1.4終端產(chǎn)水水質(zhì)：電阻率：≥18MΩ.CM（采用氮封裝置進(jìn)行保存）

1.1.5運(yùn)行方式：自動運(yùn)行（并具備手動操作功能）。

1.1.6供水方式：連續(xù)產(chǎn)出（24小時運(yùn)行）。

1.2本方案主要依據(jù)如下：

1.2.1原水水源：自來水

1.2.2原水設(shè)計溫度： 25℃

1.2.3原水水質(zhì)分析：用戶提供的原水水樣（水質(zhì)分析報告見附件）。

1.2.4設(shè)計界線：原水箱裝置進(jìn)口至成品水箱出口（詳見控制點的工藝流程圖）。

1.2.5其他涉及的設(shè)計基礎(chǔ)條件將在技術(shù)討論中確定。

1.3系統(tǒng)對外界要求：

1.3.1進(jìn)水管：進(jìn)水管送至原水箱裝置入口。

1.3.2供電纜：根據(jù)我方提出的容量，由用戶自己負(fù)責(zé)。

1.3.3出水管：終端濾器產(chǎn)水出口（詳見帶控制點的工藝流程圖）。

1.3.4藥品：調(diào)試過程所用的化學(xué)試劑消耗品由用戶提供。

1.3.5廢水處理：排至廠房內(nèi)地溝

原水（DN40）→進(jìn)水電動閥→原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→阻垢系統(tǒng)→保安過濾器→ 一級高壓泵→一級RO膜組8.0噸/H→二級高壓泵→PH調(diào)節(jié)裝置→二級RO膜組5噸/H→EDI泵→EDI系統(tǒng)5噸/H→EDI純水箱（氮封）→純水泵→用水管道入口（DN25）→ 分配系統(tǒng) →用水點1、2→EDI純水箱